金融界 2024 年 7 月 12 日音尘，天眼查学问产权讯息显示，沈阳芯源微电子修立股份有限公司申请一项名为“一种加热槽体安装及半导体工艺修立”，公然号 CN4.6，申请日期为 2024 年 4 月。

　　专利摘要显示，本发觉公然了一种加热槽体安装及半导体工艺修立，征求：槽体星空体育，所述槽体中容纳有药液恒温，所述槽体用于对放入静止状况下的所述药液中的处分对象举办恒温静置浸泡处分；加热模块，设于所述槽体的表壁上，所述加热模块用于通过对所述槽体的表壁举办直接加热，以将热能通过所述槽体的表壁向内匀称转达给所述药液，使所述药液获得匀称受热，以使得静置于所述药液中的所述处分对象处于恒温状况下领受所述浸泡处分，从而有用途分了现有本事存正在的不敷星空体育芯源微申请“一种加热槽体装配及半导体工艺装备“专利使管束器材处于恒温状况下授与沉泡管束，并正在无需减少正在线加热器的情景下星空体育，满盈知足了浸泡处分时的静置保温央浼星空体育。

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